160.
(11) Номер патента: 2175469
(46) Дата публикации: 27.10.2001
(51) МПК7: H 05 H 1/00
(21) Номер заявки: 2000107235/06
(22) Дата подачи заявки: 23.03.2000
(71) Заявитель: Бурятский научный центр СО РАН
(72) Изобретатель: Семенов А.П., Шаданов А.В., Шулунов В.Р.
(73) Патентообладатель: Бурятский научный центр СО РАН
(98) Адрес для переписки: 670047, г.Улан-Удэ, ул. Сахъяновой, 8, БНЦ СО РАН
(54) ГЕНЕРАТОР ОБЪЕМНОЙ ГАЗОРАЗРЯДНОЙ ПЛАЗМЫ
(57) Изобретение относится к плазменной эмиссионной электронике, в частности к конструкциям плазменных ионных и электронных эмиттеров непрерывного действия с большой поверхностью на основе объемного разряда с холодными электродами, и может быть использовано для термической обработки в вакууме: при спекании изделий из металлических порошков, пайке, закалке, а также в технологических процессах, например обезгаживания деталей с последующей активизацией и нанесением покрытий, когда требуется комбинация электронных и ионных пучков, решаемая в едином цикле путем переключения полярности ускоряющего частицы напряжения. Генератор выполнен с пространственно не раздельными катодной и анодной полостями. Конструкция представляет собой трубчатую полость с решетчатой стенкой из катодных и анодных стержней. Торцевой диск полости и катодные стержни, установленные на периферии диска, являются элементами полого катода гребенчатой структуры. Аналогичная гребенчатая структура из анодных стержней и торцевого сетчатого электрода устанавливается соосно с катодной структурой и образует в целом с торцевым и анодным электродами схему типа squirrel cage-type ("беличье колесо") без магнитного поля. Технический результат - использование устройства обеспечивает генерирование стационарной высокооднородной плотной плазмы, по конструктивному исполнению оно проще эмиттеров большой площади со вспомогательным разрядом с аксиальной инжекцией заряженных частиц в цилиндрический анод-формирователь (экспандер), а исключение дополнительных элементов, не влияющих на конечные параметры прибора, снижает металлоемкость и трудозатраты на изготовление. 1 ил .
|
|
