147.
(11) Номер патента: 2149366
(46) Дата публикации: 20.05.2000
(51) МПК7: G 01 J 5/58, H 01 L 21/66
(21) Номер заявки: 98107404/28
(22) Дата подачи заявки: 14.04.1998
(71) Заявитель:
Институт физики полупроводников СО РАН,
Дворецкий Сергей Алексеевич,
Дулин Сергей Афанасьевич,
Михайлов Николай Николаевич,
Рыхлицкий Сергей Владимирович,
Сидоров Юрий Георгиевич
(72) Изобретатель:
Дворецкий С.А.,
Дулин С.А.,
Михайлов Н.Н.,
Рыхлицкий С.В.,
Сидоров Ю.Г.
(73) Патентообладатель:
Институт физики полупроводников СО РАН,
Дворецкий Сергей Алексеевич,
Дулин Сергей Афанасьевич,
Михайлов Николай Николаевич,
Рыхлицкий Сергей Владимирович,
Сидоров Юрий Георгиевич
(98) Адрес для переписки:
630090, г.Новосибирск, пр. Ак. Лаврентьева 13, Институт физики полупроводников СО РАН
(54) СПОСОБ БЕСКОНТАКТНОГО ИЗМЕРЕНИЯ ТЕМПЕРАТУРЫ
(57)
Способ может быть использован для определения температуры оптически гладких поверхностей различных нагретых объектов. В способе бесконтактного измерения температуры, включающем прием теплового излучения объекта, спектральную фильтрацию, его модуляцию, детектирование, усиление на частоте модуляции, выделение переменной составляющей, излучение объекта регистрируют под углом к нормали к поверхности излучения, равным главному углу падения, причем модулируют путем последовательной коммутации на детектор ортогонально поляризованных компонент излучения объекта, а в детектируемом сигнале выделяют составляющую, пропорциональную разности ортогонально поляризованных компонент излучения, по которой определяют температуру объекта. Технический результат: способ позволил упростить юстировку и исключить влияние нагретых элементов конструкции вакуумной камеры. 1 ил.
1 - образец, 2 - нагреватель, 3 - вакуумная камера, 4 - окно, 5, 6 - полосовой фильтр, 7 - поляризатор, 8 - объектив, 9 - диафрагма поля зрения, 10 - детектор теплового излучения, 11 - блок регистрации.
|
|
