97.
(11) Номер патента: 2146724
(46) Дата публикации: 20.03.2000
(51) МПК7: C 23 C 14/06, 14/35
(21) Номер заявки: 98113042/02
(22) Дата подачи заявки: 01.07.1998
(71) Заявитель:
Институт сильноточной электроники СО РАН
(72) Изобретатель:
Коваль Н.Н.,
Толкачев В.С.,
Щанин П.М.
(73) Патентообладатель:
Институт сильноточной электроники СО РАН
(98) Адрес для переписки:
634055, Томск, пр.Академический, д.4, Институт сильноточной электроники СО РАН
(54) СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ КОМПОЗИЦИОННЫХ ПОКРЫТИЙ
(57)
Изобретение относится к технологиям нанесения упрочняющих, защитных и декоративных покрытий на изделия из металла, стекла и керамики для придания им различных функциональных свойств и цветовых оттенков. Способ включает электродуговое распыление катодной мишени и осаждение получаемого потока на изделия в атмосфере реакционноспособного газа, при этом реакционноспособный газ предварительно ионизируют в плазмогенераторе на основе несамостоятельного дугового разряда с накаленным катодом при давлении от 0,01 Па до 5 Па и токе разряда от 10 А до 300 А. Способ позволяет увеличить скорость нанесения покрытий, улучшить его качество и увеличить адгезию. 1 з.п. ф-лы, 1 ил., 2 табл.
1 - вакуумная камера, 2 - электродуговой распылитель, 3 - плазмогенератор, 4 - система напуска, 5 - источники питания.
|
|
