145.
(11) Номер патента: 2157513
(46) Дата публикации: 10.10.2000
(51) МПК7: G 01 J 4/04
(21) Номер заявки: 99104550/28
(22) Дата подачи заявки: 05.03.1999
(71) Заявитель:
Конструкторско-технологический институт прикладной микроэлектроники СО РАН
(72) Изобретатель:
Федоринин В.Н.
(73) Патентообладатель:
Конструкторско-технологический институт прикладной микроэлектроники СО РАН
(98) Адрес для переписки:
630090, г.Новосибирск, ул. Николаева 8, Конструкторско-технологический институт прикладной микроэлектроники СО РАН
(54) ЭЛЛИПСОМЕТРИЧЕСКИЙ ДАТЧИК
(57)
Изобретение относится к области исследования химических и физических свойств поверхности и может быть использовано для измерения физических постоянных и параметров материалов. Эллипсометрический датчик содержит источник излучения, поляризатор, компенсатор, исследуемый объект. Падающее на поляризатор излучение разделяется по фронту световой волны на два пучка. Отраженные или прошедшие исследуемый объект пучки регистрируются двумя фотоприемниками. Перед фотоприемниками установлены два анализатора. Плоскости поляризации анализаторов развернуты на 90° относительно друг друга. Конструкция датчика позволяет уменьшить оптическую длину, применить пленочные поляризаторы и обеспечивает высокую чувствительность измерений. 3 ил.
|
|
