50.
(11) 2120337
(46) 20.10.98
(51) 6 В 03 С 3/00
(21) 97107566/25
(22) 06.05.97
(71) Институт сильноточной электроники СО РАН
(72) Седой В. С., Шкатов В.Т.
(73) Институт сильноточной электроники СО РАН
(54) ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКИЙ УЛОВИТЕЛЬ МЕЛКОДИСПЕРСНЫХ ПОРОШКОВ
(57) Изобретение может быть использовано при улавливании мелких частиц, конкретно злектростатическом улавливании субмикропорошков. Цилиндрический осадительный электрод из диэлектрика покрыт тонким слоем полупроводящего материала. Изобретение решает задачу по улавливанию мелких до 20 нм частиц металла и диэлектрика, находящегося в зоне захвата устройства. 1 ил.
|
|
