257.
(11) 2116707
(46) 27.07.98
(51) 6 Н 05 Н 1/24, 1/00,
Н 01 J 27/02
(21) 97100106/25
(22) 06.01.97
(71) Институт сильноточной электроники СО РАН
(72) Борисов Д. П., Коваль Н. Н., Щанин П. М.
(73) Институт сильноточной электроники СО РАН
(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ СОЗДАНИЯ НИЗКОТЕМПЕРАТУРНОЙ ГАЗОРАЗРЯДНОЙ ПЛАЗМЫ
(57) Изобретение относится к газоразрядной плазменной технике и технологии, в частности к устройствам генерации низкотемпературной газоразрядной плазмы в больших объемах. В устройстве генерации низкотемпературной газоразрядной плазмы в качестве полого анода большого размера используется вакуумная камера, а в качестве катода-комбинированный катод, состоящий из термокатода и окружающего его полого цилиндрического катода, электрически соединенного с одним концом термокатода. Соотношение между диаметром D и длиной L полого катода составляет L = (3-4)D. Размер выступающей за стенки камеры-анода части полого катода равен D. Изобретение позволяет повысить эффективность генерации плазмы в процессах финишной очистки и активации по-верхности изделий перед напылением покрытий, ионного ассистирования в процессе напыления, ионного азотирования. 1 табл., 1 ил.
|
|
