141.
(11) 2111281
(46) 20.05.98
(51) 6 С 23 С 14/30, 14/48
(21) 97100471/02
(22) 10.01.97
(71) Институт сильноточной электроники СО РАН
(72) Назаров Д. С., Озур Г. Е., Проскуровский Д. И., Ротштейн В. П., Шулов В. А
(73) Институт сильноточной электроники СО РАН
(54) СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ ПОВЕРХНОСТНЫХ СПЛАВОВ
(57) Изобретение относится к методам модификации поверхностных слоев материалов, в частности к способам формирования поверхностных сплавов с помощью концентрированных потоков энергии (КВЭ). Сущность изобретения: в испарении мишени с помощью импульсного КПЭ и одновременном воздействии этого же потока на подложку, на которой формируется сплав. При этом мишень размещают между источником КПЭ и подложкой, а в качестве концентрированного потока энергии используют импульсный электронный пучок, транспортируемый в ведущем магнитном поле с максимальной энергией электронов 10-100 кэВ и током I, причем I > I П, где I П-- значение тока Пирса в области между мишенью и подложкой. 3 ил.
|
|
