332.
(11) 2096857
(46) 20.11.97
(51) 6 Н 01 J 37/077, 15/02, 1/30
(21) 96104206/07
(22) 01.03.96
(71) Бурятский институт естественных наук СО РАН
(72) Семенов А П., Нархинов В. П.
(73) Бурятский институт естественных наук СО РАН
(54) ШИРОКОАПЕРТУРНЫЙ ПЛАЗМЕННЫЙ ЭМИТТЕР
(57) Использование: в плазменной эмиссионной электротехнике, в частности в конструкции плазменных ионных и электронных эмиттеров непрерывного действия с большой поверхностью на основе объемного разряда с холодными электродами, для термической обработки в вакууме, при спекании изделий из металлических порошков, пайки, закалки, а также в технологических процессах, например, обезгаживании деталей с последующей активацией и покрытием поверхностей, когда требуется комбинация электронных и ионных пучков, решаемая в едином узле путем переключения полярности ускоряющего частицы напряжения. Сущность изобретения: в широкоапертурном эмиттере, выполненном в едином узле электродных систем вспомогательного кольцевого и основного объемного разрядов и содержащем общий анод и катоды, плоские катоды, один из которых сетчатый, магнитную систему, общий анод выполнен в форме цилиндрического тороида, в полость тороида со стороны внешнего цилиндра на половину длины заглублены стержневые катоды. Внутренний цилиндр тороида снабжен кольцевой прорезью и образует с торцовыми плоскими катодами полость, а на периферии внешнего цилиндра стержневые катоды перемкнуты магнитами и, следовательно, образуют магнитную цепь с продольным магнитным полем в полости тороида. 1 ил.
|
