295.
(11) 2095749
(46) 10.11.97
(51) 6 G 01 B 11/00
(21) 94036799/28
(22) 30.09.94
(71) Институт физики им.Л. В. Киренского СО РАН
(72) Шестаков Н. П.
(73) Институт физики им. Л. В. Киренского СО РАН
(54) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ УСТУПОВ С КРУТЫМИ СТЕНКАМИ
(57) Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для интерференционных измерений устройств с крутыми стенками, например, на "свидетелях", используемых при измерении толщины напыления или определении глубины травления полированных поверхностей в электронике и машиностроении. Техническим результатом является повышение достоверности и увеличение диапазона измерений. Способ заключается в том, что измеряют дробную часть сдвига интерференционных полос на уступе, стенки уступа смачивают жидкостью и на образованном плавном переходе поверхности от вершины к подножью измеряют целую часть сдвига интерференционных полос. 2 ил.
|
