ВВЕДЕНИЕ ........................................................ 3

Глава 1. Распределение имплантируемых элементов по глубине 
поверхностных слоев никеля и титана в поликристаллическом 
состоянии ...................................................... 11
1.1  Характеристика металлических мишеней. Особенности 
     технологической реализации ионного облучения .............. 12
1.2  Распределение внедренных элементов по глубине 
     поверхностных слоев никеля и титана ....................... 19
1.3  Физические процессы, происходящие в металлических
     материалах в поликристаллическом состоянии в условиях
     ионной имплантации ........................................ 37

Глава 2. Фазообразование в поверхностных ионно-легированных
слоях никеля и титана в поликристаллическом состоянии .......... 57
2.1  Формирование наноразмерных интерметаллидных фаз в 
     никелевых и титановых матрицах при воздействии ионного 
     облучения ................................................. 62
2.2  Особенности фазового состава поверхностных слоев титана,
     имплантированного ионами алюминия ......................... 69
2.3  Структурно-фазовое состояние поверхностных слоев никеля,
     имплантированного ионами алюминия ......................... 84
2.4  Влияние имплантации ионов титана на структурно-фазовое
     состояние ионно-легированных слоев никеля ................. 98
2.5  Особенности фазообразования в поверхностных слоях
     металлов, облученных в режиме высококонцентрационной 
     ионной имплантации ....................................... 104

Глава 3. Закономерности формирования градиентных 
поверхностных слоев металлов (никеля и титана) в
поликристаллическом состоянии в условиях ионной имплантации.
Взаимосвязь структуры и механических свойств .................. 108
3.1  Локализация сформированных фаз в поверхностных слоях 
     титана ................................................... 115
3.2  Структура градиентных слоев никеля, имплантированного 
     ионами алюминия и титана ................................. 120
3.3  Особенности формирования градиентных поверхностных 
     слоев никеля и титана при воздействии ионного облучения .. 132
3.4  Взаимосвязь структурно-фазового состояния поверхностных
     ионно-легированных слоев металлов и механических
     свойств .................................................. 135

Глава 4. Влияние размера зерна матрицы-носителя на 
модификацию структурно-фазового состояния и механические
свойства поверхностных ионно-легированных слоев металлов ...... 141
4.1  Получение, структура и физические свойства титановых 
     материалов в различных структурных состояниях ............ 142
4.2  Элементный состав поверхностных слоев титана, 
     имплантированного ионами алюминия, и процессы 
     массопереноса в зависимости от размера зерна мишени ...... 167
4.3  Влияние размера зерна мишени и режимов имплантации на
     структурно-фазовое состояние поверхностных слоев 
     титана, имплантированного алюминием ...................... 176
4.4  Влияние режимов ионной имплантации на механические 
     свойства ионно-легированного титана с различным 
     зеренным состоянием мишени ............................... 189

Глава 5. Физико-химические процессы в градиентных 
поверхностных слоях металлических материалов при ионной 
имплантации и контакте с окислительной средой ................. 192
5.1  Структурно-фазовые процессы в поверхностных слоях
     облученных материалов .................................... 194
5.2  Процессы формирования интерметаллидных фаз в 
     поверхностных ионно-легированных слоях металлов .......... 199
5.3  Теоретическое описание физико-химических процессов, 
     протекающих в металлических материалах в условиях 
     ионного облучения ........................................ 203
5.4  Процессы формирования оксидных и карбидных фаз в
     поверхностных слоях металлов в условиях ионного
     облучения ................................................ 211
5.5  Физические механизмы химического процесса 
     поверхностного окисления. Роль структурного и
     концентрационного факторов ............................... 218

ЗАКЛЮЧЕНИЕ .................................................... 234
СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ ............................................. 238
ОСНОВНЫЕ УСЛОВНЫЕ ОБОЗНАЧЕНИЯ ................................. 254